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激光尺的分辨率不僅要超越納米(nm)領(lǐng)域，還要超越皮米的世界。預(yù)測客戶要求的分辨率開發(fā)速度就跟摩爾定律※說的一模一樣。激光尺可以提供的高分辨率和穩(wěn)定性，支撐著最尖端的測量和定位控制。在下一代半導(dǎo)體制造、相機(jī)鏡頭模具加工等，要求高精度、高分辨率的領(lǐng)域，激光尺是必不可少的。而且，我們將測量對象從1維擴(kuò)展到2維，然后又通過使用Z傳感器將測量對象擴(kuò)展到3維，并且在角度方面也開發(fā)了具有世界最高精度的編碼器等，不斷預(yù)測客戶的需求。
※摩爾定律（Moore’s Law）
與半導(dǎo)體芯片的集成密度有關(guān)的規(guī)律，說的是性能每隔1～2年就會翻一倍。1965年，英特爾的創(chuàng)始人之一戈登·摩爾宣布了這一經(jīng)驗(yàn)法則。
光柵干涉式柵尺
由于在檢測原理中采用了自主研發(fā)的光柵干涉儀，所以實(shí)現(xiàn)了不受溫度、氣壓和亂氣流影響的測量及控制。
按全息格式
制作的柵尺
由于柵尺以全息格式而不是繪圖格式制作而成，因此可以獲得具有良好線性的輸出信號。
出色的內(nèi)插處理技術(shù)
通過獨(dú)有的內(nèi)插電路和補(bǔ)償技術(shù)，可以獲得出色的內(nèi)插精度。
應(yīng)用程序
超精密工作臺（支持真空）
表面粗糙度輪廓測量儀
半導(dǎo)體制造測試設(shè)備
非接觸式微細(xì)形狀測量
形狀磨床/導(dǎo)光板加工機(jī)
非球面加工機(jī)
BS系列
最大分辨率2.1 pm
信號波長138 nm
低噪聲4 pm
最大測量范圍
低膨脹玻璃420 mm
熱膨脹系數(shù)
低膨脹玻璃-0.7×10-6/℃
最大響應(yīng)速度400 mm/s
BS78
柵尺材質(zhì):低膨脹玻璃
BH系列
最大分辨率3.8 pm
信號波長250 nm
最大測量范圍
低膨脹玻璃420 mm
蘇打玻璃420 mm
零膨脹玻璃640 mm
無堿玻璃640 mm
熱膨脹系數(shù)
低膨脹玻璃-0.7×10-6/℃
蘇打玻璃8×10-6/℃
零膨脹玻璃0.1×10-6/℃
無堿玻璃3.7×10-6/℃
最大響應(yīng)速度1,800 mm/s
BH25
柵尺材質(zhì)：低膨脹玻璃
蘇打玻璃
零膨脹玻璃
無堿玻璃
BL50H系列
最大分辨率6.1 pm
信號波長400 nm
最大測量范圍1D1,070 mm
1.5DX: 770 mm
Y: 1 mm
2D500 x 600 mm
最大響應(yīng)速度3 m/s
(特殊對應(yīng)時(shí)為5m/s)
熱膨脹系數(shù)
零膨脹玻璃0.1×10-6/℃
無堿玻璃3.7×10-6/℃
BL50H
柵尺材質(zhì):零膨脹玻璃
無堿玻璃
BL系列
最大分辨率10 nm
信號波長400 nm
最大測量范圍
低膨脹玻璃420 mm
蘇打玻璃1,060 mm
熱膨脹系數(shù)
低膨脹玻璃-0.7×10-6/℃
蘇打玻璃8×10-6/℃
最大響應(yīng)速度3,000 mm/s
BL57
柵尺材質(zhì):低膨脹玻璃
蘇打玻璃
BH系列
最大分辨率0.09 nrad
信號波長250 nm
BH20
柵尺材質(zhì)：冕玻璃
