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Mercury™真空編碼器以其性能，小尺寸和高真空等級(jí)的結(jié)合而在各種應(yīng)用中得到指定。從具有數(shù)字或模擬輸出的型號(hào)中選擇，所有型號(hào)均使用額定真空度達(dá)10-8托的兼容真空的材料制成。
| 尺寸 | 20.6 x 12.7 x 8.4毫米 |
| 接口，數(shù)字 | A quad B，帶零位 |
| 接口，模擬 | - |
| 插補(bǔ) | 在傳感器中最大40x |
| 分辨率 | 5微米-0.5微米 |
| 精確度等級(jí)，線性玻璃 | 高達(dá)+/-1微米 |
| 精度等級(jí)，線性金屬帶狀 | - |
| 光柵間距 | 20微米 |
| 最大速度 | 7.2米/秒 |
| 操作環(huán)境 | 真空度可達(dá)10^-8 |
| L | |
| 最高精確度等級(jí) | +/- 1微米 |
| 測(cè)量長度 | 最大2020 |
| 寬度 | 20毫米 |
| 零位 | 中心或端部 |
| 材料 | 蘇打石灰玻璃 |
| 熱膨脹系數(shù) | 8ppm/°C |
| 安裝 | 環(huán)氧樹脂 |
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