Mercury™真空編碼器以其性能,小尺寸和高真空等級的結合而在各種應用中得到指定。從具有數字或模擬輸出的型號中選擇,所有型號均使用額定真空度達10-8托的兼容真空的材料制成。
尺寸 | 20.6 x 12.7 x 8.4毫米 |
接口,數字 | - |
接口,模擬 | 1 Vpp正弦/余弦(帶零位) |
插補 | 在客戶電子產品中達到x256 |
分辨率 | 5微米-78納米 |
精確度等級,線性玻璃 | 高達+/-1微米 |
精度等級,線性金屬帶狀 | - |
光柵間距 | 20微米 |
最大速度 | 7.2米/秒 |
操作環(huán)境 | 真空度可達10^-8 |
MIIL | |
最高精確度等級 | +/- 1微米 |
測量長度 | 最大2020 |
寬度 | 20毫米 |
零位 | 中心或端部 |
材料 | 蘇打石灰玻璃 |
熱膨脹系數 | 8ppm/°C |
安裝 | 環(huán)氧樹脂 |